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王钻开图谱-机械领域：

相关人员

宗登刚 陆德仁 王聪和

研究领域

灵敏度 频率 氮化硅 残余应力 加速度传感器 静态测试 低压化学气相淀积 弯曲强度

所属机构

香港理工大学应用物理系 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感...

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