李圣怡 周林 解旭辉 王登峰 戴一帆

光学表面成形 加工可达性 加工损伤 L-曲线 CEH模型 离子束修形 驻留时间 光学镜面 离子溅射 计算机控制 去除效率 光学加工 误差模型 后置算法 光学零件加工 截断奇异值分解法TSVD) 误差补偿 离子束加工 光学镜面加工 热效应