戈肖鸿 车录锋 宋朝晖 熊斌 张鲲 李昕欣 王跃林 张正福 张颖 刘广军 李铁 姜涛 杨衡 陈永 刘翔 夏晓媛 高安然 王安麟 程保罗

栅形电极 温度梯度 检测电容 感生电动势检测 影响因子 谐振特性 体硅工艺 滑膜阻尼 表面张力梯度 随机参数 开放式结构 子结构 电阻加热器 微液滴 加速度传感器 体微机械加工 微机械陀螺 统计分析 双端固支硅纳米梁 绝缘工艺 自组织 静电驱动 形状优化 工艺误差 侧壁扩散 微机电系统 离差系数 元胞自动机 输出电容