刘伟 孙连春 徐峰林 张景和 贾宏燕 高劲松 廖江红 宋立维 卢俊 赵晶丽 刘小涵

传动链 气路结构 滤波器 金属网栅 球面 光刻 扭转刚度 二元光学元件 频率选择表面 反向法 化学镀镍 极化稳定性 真空吸附 谐振频率 临界角法 屏蔽效能 钢度 划片机 轴系回转误差 误差分离 电磁屏蔽 激光直写设备 角度稳定性 真空发生器

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所