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吴嘉丽图谱-机械领域：

相关人员

王超 李仁锋 赵龙 谭刚 陈光焱

研究领域

多晶硅薄膜 惯性开关 低g值开关 微机电系统 淀积速率 优化 低压化学气相淀积 阿基米德螺旋线

所属机构

中国工程物理研究院电子工程研究所

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