朱龙洋 褚家如 吴有金 许晓慧 鲁健 吴绍勇 文莉 黄文浩 刘爽 冯艳 刘芳 赵钢 杨景超

频率响应 品质因数 全光纤相位调制器 微致动器 压电薄膜 平均刻蚀速率 数字锁相 掺锡氧化铟 气雾化湿法减薄 电荷灵敏度 锆钛酸铅薄膜 铁电薄膜 PZT薄膜 镍酸镧 数字调谐 变形镜 电学性能 PZT厚膜 超高密度信息存储 微悬臂梁 疲劳特性 等效横向压电系数