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有效沉积区 微波等离子体CVD 复相薄膜 内应力 多层结构 二次形核 金刚石复合涂层 负作用 复合电镀 金刚石薄膜 晶面取向 两步预处理 钠米金刚石涂层 Y2O3薄膜 切削性能 工具 自支撑金刚石膜 微米-纳米金刚石复合涂层 断裂强度 减反射 纳米金刚石薄膜 切削力 制备和应用 纳米金刚石 直流电弧等离子喷射化学气相沉积 等离子体 均匀性 摩擦磨损 微波等离子体化学气相沉积 金刚石涂层

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