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应变参数 测控系统 动态优化设计 迟滞 趋势自动预测 准动态测量仪器 动态精度 零漂 定位显示 三维柔性触觉传感器 经纬仪 驱动特性 光栅 磁悬浮导轨 快速细分 测量力恒定设计 表面检测 在线监测 压电陶瓷驱动器 差动控制 并行共焦测量 数据显示RAM 动态力平衡 细分信号 控制方法 高精度接触式测头 标定平台 转换系数 低纹波 运行轨迹

合肥工业大学 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院