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压入试验 非平衡磁控溅射 疲劳极限 摩擦学性能 调质钢 高硬度类石墨膜 TiN晶体 疲劳性能 微动疲劳 表面韧性 等离子表面合金化 切削行为 疲劳裂纹 裂纹扩展 微动磨损 常规法 复合处理 CrN镀层 表面裂纹 掠射侧倾法 涂层压入仪 硬质薄膜 裂纹闭合 连续加载卸载 薄膜 涂层 表面硬度 氮化铬 表面强化 粒子束增强沉积

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