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产品平台 真空镀膜机 真空系统 快速设计 选型 控制阀 关阀 创新 霍尔电流传感器 电动执行机构 结构形式 SPC3 CAN总线 真空计 线性度 单元控制器 测试电路 自动控制仪 流程模型 锅炉给水系统 PROFIBUS-DP 允许差压 数据采集 压强 动态阻尼 精度 真空室 虚拟仪器