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氮化硅薄膜图谱-计算机领域：

研究人员

景俊海 杨银堂 黄庆安 杨绪华 张忠良 孙青 谭久彬 庄奕琪

相关术语

微加工技术 成品率 淀积速率 热膨胀系数 介电常数 工艺条件 剥离技术 薄膜应力

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