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乙炔 射线 尖晶石 光学特性 多层薄膜结构 传感器 选择性 电学特性 Nd掺杂 二氧化锡 复合氧化物 灵敏度 SnO2 水热合成 ZnO薄膜 性能 厚膜 制备方法 薄膜 电阻 材料 电离室 ZnO纳米棒单晶Si 氢传感器 电导 棒状晶粒 热处理 ZnO 复合膜 纳米