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双轴加速度传感器 三梁结构 微流量传感器 参数模型 仿生传感器 交叉灵敏度 非完全匹配的双端固定音叉 谐振式微加速度传感器 双端激励差分检测 电热驱动谐振式微加速度传感器 微尺度低速气体流动 微谐振梁 应变片 微加速度计 微谐振式传感器 同频干扰 有限元分析 温度传感器 谐振频率 微谐振器 双端固定音叉 有限元模拟 梳状电极 静电刚度 微杠杆结构 微加热器 模态提取 检测电压