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微机械加速度计图谱-计算机领域：

研究人员

王路达 任杰 董景新 陈宇晓 刘昌孝 樊尚春 刘云峰 李童杰

相关术语

测量范围上限 参数 梳齿式 谐振器 差动电容结构 建模 微机电系统 MEMS

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