张为 高家昌 崔光浩 倪智琪 张生才 姚素英 范茂军 张国威 段治安 郭青 胡永建 赵毅强 张维新 王善慈 刘振茂 刘晓为

宽长比 三次样条插值 相对误差 变送器电路 真空压力传感器 硅杯 加速度传感器 高温压力传感器 多晶硅 MEMS技术 温度补偿 膜厚比 应变电阻 牺牲层 硅传感器 平面结构 光敏二极管 XTR101 弹性膜片 ANSYS 光纤压力传感器 微电子机械系统