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薄膜 电阻应变计 绝缘电阻 灵敏系数 温度传感器 热导 电压系数 杂质 温度自补偿 研制成功 退火 多晶硅电阻 电阻性能 耐电压 温度效应 热处理 热输出 消除方法 镍薄膜电阻 氧化钒 广泛应用 保护膜 掺杂浓度 泄漏电流 R-T特性 真空蒸发 灵敏度温度系数 生产过程 微机测试系统 同类产品