谭德生 李慧娟 关亚风 谢立强 张立勋 张鹏 田爱民 王飞 赵新生 王浩旭 李圣怡 蔡威 柳若芍 张巧云 吴学忠 申大忠 谭定忠 康琪 陈令新 马继平 王立权

修平工艺 侧壁晶棱 压电 双液隔电极式压电传感器 各向异性刻蚀 吸附 吖啶橙 传感器 微机械陀螺 刻蚀 湿法腐蚀 表面电荷分布 表面积 阴离子表面活性剂 保护