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导电性能 厚膜压阻式传感器 低温电阻 掺杂改性 电阻温度系数 极限工作温度 频率 低温应用 应变值 应变 溅射室 热灵敏度漂移 应变电阻 温度效应 温度自补偿 消除方法 热输出 液氦温度 计算公式 专业标准 多晶硅 电阻应变计 压力传感器 视应变 铜薄膜 工作特性 薄膜电阻 电阻应变传感器 振弦式应变传感器 温度补偿