吴志明 张玉宝 章定康 邵志标 余山 严剑飞 黄敞 袁凯 张国生 王跃林 太惠玲 李昕欣 李鹏 范焕章 胡浩 赵友洲 张礼德 许春芳 邵家瑜 张萍 王成 刘芸 王政平 马任德

最佳工艺条件 微悬臂梁 负载电阻 传感器 压阻 淀积速率 抗电特性 导电性 绝缘栅 光刻胶 电荷密度 晶体管 活性基 半导体表面 粒度 化学反应式 选择性 控制电压 反应气体 高低温 非破坏性 标准物质研制 电荷分布规律 纳米球 反应离子刻蚀 等离子体淀积 高输入阻抗 等离子刻蚀机 国内外 长链聚合物