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陈青松图谱-计算机领域：

相关人员

汪师俊 沈天慧 何莲萍 李积和

研究领域

硅烷一氧体系 吸杂 低压化学气相淀积二氧化硅

所属机构

上海交通大学 上海硅材料厂

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