赵江铭 王成龙 董海清 王小静 张永宇 张华良 余光伟 沈雪瑾 刘武发 王建贵 王加亮 孙雅茹 崔志武 杜向阳 杨杰伟 宋化镜

测试分析 振幅电压比 滚动轴承 微致动器 溶胶—凝胶法 弯簧 电热 二氧化锡 拉簧ANSYS仿真 微机械 静电微谐振器 微滑块 热处理 半经验公式 虚拟仪器 多晶硅 品质因子 试验研究 动态特性 纳米 MEMS