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钱佑华图谱-计算机领域：

相关人员

苏毅 陈良尧 王渭源 孙承龙 谭淞生

研究领域

反应离子刻蚀 等离子体刻蚀 各向异性 均匀性

所属机构

复旦大学物理系

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