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路海林图谱-计算机领域：

相关人员

王冬梅 沈晓明 袁凯 王嵩宇 郭长厚 陈东石 姜丽娟 李军

研究领域

双层金属化 缀饰 筛选实验 显影 光刻胶 SEM 焦深 解理 优化工艺 光刻 光刻精度

所属机构

电子工业部东北微电子研究所 东北微电子研究所

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