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迟晓珠图谱-计算机领域：

相关人员

闫桂珍 侯占民 金鸿章 王劲松 张精华 王伟 崔健 田雷 崔宏敏 吴亚林

研究领域

等离子体刻蚀 线加速度 角加速度 复合传感器 微机械陀螺 频响函数 硅微加速度计 MEMS 振动特性 压阻式

所属机构

中国电子科技集团公司第四十九研究所 黑龙江哈尔滨 哈尔滨工程大学自动化学院 黑龙江哈尔滨150001中国电子科技集团... 北京大学微电子系微米纳米加工技术国家重点...

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