计时鸣 王伟

破坏 空气压膜阻尼 可伐合金 冲击硅微机械加速度传感器 封装 硅微机械电容式麦克风 动态特性 铜底板 电容式硅微机械麦克风 模态频率 频率带宽 带孔的铜底板 三层复合膜 灵敏度 自由悬浮敏感膜 三层复合敏感膜

浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实...