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蔡琪玉图谱-计算机领域：

相关人员

沈天慧 汪师俊

研究领域

氮化硅 可靠性 CMOS电路 光化学气相淀积 薄膜

所属机构

上海交通大学 高纯硅及硅烷国家重点实验室 上海交通大学高纯硅及硅烷国家重点实验室

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