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汪师俊图谱-计算机领域：

相关人员

沈天慧 陈青松 何莲萍 李积和 蔡琪玉

研究领域

氮化硅 CMOS电路 吸杂 薄膜 光化学气相淀积 硅烷一氧体系 低压化学气相淀积二氧化硅 可靠性

所属机构

上海交通大学 上海硅材料厂 高纯硅及硅烷国家重点实验室 上海交通大学高纯硅及硅烷国家重点实验室

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