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李积和图谱-计算机领域：

相关人员

汪师俊 陈青松 沈天慧 何莲萍

研究领域

低压化学气相淀积二氧化硅 吸杂 硅烷一氧体系

所属机构

上海硅材料厂 上海交通大学

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