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张辉军图谱-计算机领域：

相关人员

邱成军 穆长生 刘鑫 曲伟 温殿忠

研究领域

真空镀膜 PN结 膜厚均匀性 蒸发源位形 射频磁控溅射 金红石相 氧传感器 MEMS 磁控溅射

所属机构

黑龙江哈尔滨 黑龙江大学电子工程学院 黑龙江大学集成电路重点实验室

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