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张光照图谱-计算机领域：

相关人员

王香文 卢慧斌 张德利 刘焱 刘振善 朱玉江

研究领域

多芯片组件 传感器 X射线 微加工 化学处理 各向异性 金硅共熔工艺 差压 刻蚀 微电镀 光刻 石英晶体 漂移 智能 扩散硅压力变送器 复制 倒装 芯片 沉积 硅 激光 干刻蚀 凸角 等离子体 补偿

所属机构

东北传感技术研究所 信息产业部电子第四十九研究所

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