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HIS
高Tc超导红外探测器
侧墙
移动化电子工业
泡沫
反应离子刻蚀
各向异性深刻蚀
传感器
多触点
刻蚀速率
消沫
侧壁保护机制
电阻温度系数
PDA
大型发酵罐
嵌入式系统
配套仪
热导
表面粗糙度
所属机构
中国科学院上海冶金研究所
上海大学工学院
中科院上海冶金所传感技术联合开放国家重点...
中国科学院上海冶金所
中科院上海冶金所传感技术研究室
复旦大学附属华山医院计算机中心
上海市复旦大学电子工程系集成电路设计研究...
上海玩具九厂
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