谭智敏 林惠旺 张兆华 任天令 谢会开 靳东明 李志坚 刘兵武 温明生 刘泽文 岳瑞峰 曲炳郡 雷啸锋 张艳红 李晶晶 张洵 宣云 唐世洪 方华军 赵复龙

温度传感器 自旋阀 MOS晶体管 集成电路 硅 簧片式硅弹性膜 热测试 灵敏度 力敏效应 宽度 生物传感器 应力分布 射频 压电多层膜 BST 悬臂梁 集成工艺 单面光刻 钝化层 微机械 微执行器 功耗 MEMS 压力传感器 零点输出 多信号输出 压力温度传感器 开关 压阻效应

清华大学微电子学研究所 清华大学微电子所 清华大学微电子研究所 湖南吉首大学物理系