吴小梅 李泽湘 李圣怡 侯占强 陈志华 陶溢 刘冠峰 肖定邦 沈辉 王浩旭 满海鸥 万红 黎渊 彭智丹 江平 李兆泽 谢立强 徐超 李伟东 董培涛 张建辉

MEMS 加速度计 硅微陀螺 三轴 调制解调 ICP刻蚀 微分几何 高g 分布 温度模型 Pyrex玻璃 铬薄膜 二次谐波 自适应控制 微惯性器件 模态频率 驱动谐振频率 实验设计 微机电系统 测试 石英 湿法腐蚀 电路分析 冗余驱动 线性回归 微推进器 并联机器人 频率响应 双正弦载波 各向异性腐蚀

国防科技大学机电工程与自动化学院 香港科技大学电气工程学系