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主动流动控制 膈膜 速率反馈 合成射流 单片机 特征尺寸 数值模拟 形状控制 阻尼 气动弹性 电极直接驱动 抖振控制 电火花加工 机电耦合 压电材料 胶粘层 钹形结构 最优控制 均匀应变模型 多域耦合 颤振抑制