杨拥军 施芹 裘安萍 姜智能 丁衡高 周百令 万德钧 黄庆安 李立杰 杨波 王寿荣 朱欣华

梳状谐振器 数据采集 频率测量 隧道效应 计算机集成微制造单元 振动轮式陀螺仪 机电接口模型 电容信号器 微惯性仪表 微机械 分辨率 寄生电容 角速率传感器 谐振式加速度计 硅微机械陀螺仪 锁相环 微机械陀螺

东南大学 南京理工大学机械工程学院 江苏南京 河北半导体研究所