王永梁 董景新 刘坤 付中泽 付真斌 吴秋平 吴黎明 彭晓军

硅微陀螺 静电悬浮 电容式位移检测 数字控制器 气膜阻尼 波分复用 直流静电悬浮系统 六自由度

驻天津地区军代表室 清华大学精密仪器系 清华大学精密仪器及机械学系 北京清华大学精密仪器与机械学系