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虞益挺图谱-航空航天领域:
相关人员
苑伟政
谢建兵
乔大勇
研究领域
反应离子刻蚀
微负载效应
表面微细加工
二氧化硅
所属机构
微纳米系统实验室
西北工业大学
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