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虞益挺图谱-航空航天领域：

相关人员

苑伟政 谢建兵 乔大勇

研究领域

反应离子刻蚀 微负载效应 表面微细加工 二氧化硅

所属机构

西北工业大学 微纳米系统实验室

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