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静态模型辨识 气膜 直流高压电源 静压气体球轴承 微机械加速度计 干扰力矩 转子 数字信号处理器DSP) 电容传感器 静电悬浮系统 直流静电悬浮系统 直流高压放大器 球形转子平衡装置 稳定性 微机械系统（MEMS） 静电轴承 恒速控制 不平衡 梳齿式加速度计 锁相环 静平衡 静电悬浮 数字控制器 静电支承 静电陀螺仪 力平衡 惯性仪表

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