康沫狂 杨峥 郑倩 李阳平 许念坎 郑修麟 耿东生 刘文婷 张淼 许冰 张兴刚 刘辉 冯丽萍 憨勇 张贵锋 郭力军 谭婷婷 鹿芹芹 孙金池 刘其军

类金刚石薄膜 结构 电子结构 CuAg导电薄膜 沉积速率 密度泛函理论（DFT） 化学气相沉积 反应离子刻蚀 ZnS 光学特性 热稳定性 电学性能 欧姆接触 射频磁控溅射 C-V特性 溅射功率 红外透过率 薄膜 刻蚀深度 二维亚波长结构 四方晶相HfO2 磁控反应溅射 HfO2高k薄膜 HfO2薄膜 类金刚石碳膜 透过率 快速退火 体材料 衍射效应

西北工业大学凝固技术国家重点实验室